一、 技术简介：

微光学器件可广泛应用于光学传感、光通信、光计算、数据存储、激光医学、娱乐消费以及其他特殊系统中。在多种制作技术中，基于空间光调制器的数字掩模制作技术具有制作周期短、成本低、精度高等优点，具有良好的应用前景。项目采用纯数字化空间光调制器实时生成掩模来代替传统的物理掩模，研制了基于空间逛调制器的数字光刻机，提出了数字移动、数字旋转、数字分形、数字编码等系列数字制作关键技术。                 

     数字光刻机          

数字移动掩模技术制作结果    

数字旋转掩模技术制作结果  

  数字分形掩模技术制作结果

二、主要技术指标：

三、联系方式：

联系人：罗宁宁

通讯地址：南昌市丰和南大道696号

邮编：330063

E-Mail: ningningluo2002@126.com

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